硅片減薄機的發展歷程經歷了由旋轉臺減薄（采用CREEP-Feed技術）到硅片自旋轉減薄（采用IN-Feed技術）的階段。旋轉臺減薄存在受力不均導致的硅片翹曲等問題，而硅片自旋轉減薄較好地避免了這些問題。

減薄工藝的技術難點在于硅片減薄至一定程度后容易翹曲、碎片。然而，隨著技術的不斷發展，硅片減薄機的性能也在不斷提升。目前，硅片減薄機的精度已經能夠達到幾個微米。

此外，隨著Chiplet（將不同功能的裸芯片采用先進封裝技術集成為單芯片）與3D封裝技術的不斷發展，芯片組厚度的增加有望催生前道環節對減薄機的需求。自動化與集成化（減薄拋光一體機等）也被認為是減薄機的未來技術發展方向，自動化與集成化能夠降低成本、提升效率，同時自動化還可以避免減薄過程中發生崩盤、損壞等現象。

硅片減薄機的應用范圍非常廣泛，不僅在半導體制造領域有重要應用，還在太陽能電池板、傳感器、激光器等領域的制造過程中發揮重要作用。在這些應用中，硅片減薄機都能夠提供高質量、高精度的硅片，為產品的性能和品質提供有力保障。